| 2017年 | 第24回技術賞 |
該当者なし
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| 2016年 | 第23回技術賞 |
藤岡 洋，太田 実雄，小林 篤，上野 耕平（東京大学生産技術研究所）
「非晶質基板上への窒化物半導体LED作製技術の開発」
奥津 哲夫（群馬大学大学院理工学府）
「タンパク質結晶化促進プレートの開発」
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| 2015年 | 第22回技術賞 |
三宅 秀人（三重大学大学院地域イノベーション学研究科・教授）
福山 博之（東北大学多元物質科学研究所・教授）
「サファイア基板上への高品質窒化アルミニウム成長技術」 |
| 2014年 | 第21回技術賞 |
島村 清史，エンカルナシオン・アントニア・ガルシア・ビジョラ（物質・材料研究機構）
青木 和夫，吉川 幸雄（(株)光波）
一ノ瀬 昇（早稲田大学）
「新しいワイドギャップ半導体β-Ga2O3単結晶の開発」
今出 完，吉村 政志，丸山 美帆子（大阪大学）
川村 史朗，森 勇介（物質・材料研究機構）
「Naフラックス法による大口径・高品質GaN結晶育成技術」
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| 2013年 | 第20回技術賞 |
川瀬 智博（住友電気工業(株)）
羽木 良明，橋尾 克司，金子 秀一（住電半導体材料(株)）
鴻池 一暁（住友電気工業(株)）
井上 哲也（住電半導体材料(株)）
「縦型ボ−ト法による大型高品質GaAs・InP結晶の量産化」
熊谷 義直（東京農工大学）
永島 徹，木下 亨（(株)トクヤマ）
纐纈 明伯（東京農工大学）
「HVPE法による窒化アルミニウム単結晶基板の開発」
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| 2012年 | 第19回技術賞 |
柴田 直樹，牛田 泰，斎藤 義樹久，奥野 浩司（豊田合成（株））
向井 孝志，長濱 慎一，森田 大介，成川 幸男（日亜化学工業（株））
「窒化物半導体発光素子の技術開発と量産化」
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| 2011年 | 第18回技術賞 |
鹿島 一日兒（コバレントマテリアル（株））
泉妻 宏治（コバレントシリコン（株））
「アニールSiウェハの開発とgrown-in 欠陥評価」 |
| 2010年 | 第17回技術賞 |
梅野 正義（名古屋工業大学（名誉教授），中部大学（客員教授））
strong>江川 孝志（名古屋工業大学）
「MOCVD装置及びSi上化合物半導体成長技術の開発」 |
| 2009年 | 第16回技術賞 |
吉川 彰，柳田 健之，横田 有為（東北大学）
strong>鎌田 圭（古河機械金属(株)）
strong>荻野 拓（東京大学）
「ガンマ線用シンチレータPr:LuAG単結晶の開発とその応用展開」
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| 2008年 | 第15回技術賞 |
安達 宏昭（(株)創晶）
森 勇介，佐々木 孝友2，高野 和文（大阪大学）
「タンパク質の新しい結晶成長技術の開発」
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| 2007年 | 第14回技術賞 |
倉知 雅人，佐橋 家隆（(株)山寿セラミックス）
「高機能タンタル酸リチウム・ニオブ酸リチウム単結晶ウエハの開発と量産化」 |
| 2006年 | 第13回技術賞 |
入倉 正登，岡久 拓司，笠井 仁，竹本 菊郎，中畑 成二，松本 直樹，三浦 祥紀，元木 健作（住友電気工業(株)）
「ＶＰＥ法による高品質２インチＧａＮ基板量産技術の開発」 |
| 2005年 | 第12回技術賞 |
大場 点（キヤノンオプトロン（株））
雄山 泰直（キヤノン（株））
「半導体リソグラフィー用高品位蛍石単結晶の開発」 |
| 2004年 | 第11回技術賞 |
石橋 浩之，藏重 和央，住谷 圭二（日立化成工業（株））
「PET用φ105 mm-GSO単結晶の開発」
碓井 彰（古河機械金属（株））
「FIELO(facet initiated epitaxial lateral overgrowth)法によるGaN厚膜単結晶成長法の開発」 |
| 2003年 | 第10回技術賞 |
古川 保典，松村 禎夫，伊藤 猛，羽生 真之，松倉 誠，名取 雅公，北村 健二*，竹川 俊二*（（株）オキサイド，*独立行政法人物質材料研究機構と兼任）
「定比ニオブ酸リチウム・タンタル酸リチウム単結晶の実用開発」
角谷 均，戸田 直大（住友電工（株））
佐藤 周一（（財）ファインセラミックスセンター：出向中）
「高純度，高完全性ダイヤモンド単結晶の工業的育成法の開発」 |
| 2002年 | 第9回技術賞 |
長澤 弘幸，八木 邦明，河原 孝光（HOYA（株））
「アンジュレーター付Si(001)基板への3C-SiCヘテロエピタキシャル成長」
進藤 勇（（株）クリスタルシステム）
「四楕円鏡型赤外線単結晶製造装置の開発とその利用法」 |
| 20年 | 第8回技術賞 |
細川 忠利，町田 博（（株）トーキン）
樋口 幹雄（北海道大学）
「光アイソレータ用高品質ルチル単結晶の開発」
島貫 康，森田 悦郎，降屋 久，池澤 一浩，原田 和浩，田中 俊郎，龍田 次郎（三菱マテリアルシリコン（株））
「シリコン結晶中のＣＯＰの発見とＣＯＰフリー“ピュアシリコン”の開発」
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| 2000年 | 第7回技術賞 |
平野 立一，小廣 健司，甲斐荘 敬司，小田 修（（株）日鉱マテリアルズ）
「高品質InP単結晶の開発」 |
| 1999年 | 第6回技術賞 |
藤田 慶一郎，龍見 雅美，盛岡 幹雄，藪原 良樹，川瀬 智博，細川 佳宏（住友電気工業（株））
「大口径高品質化合物半導体基板の開発」 |
| 1998年 | 第5回技術賞 |
石川 武正，本田 洋一，佐藤 忠邦（（株）トーキン）
「光アイソレーター用大口径液相エピタキシャルガーネット単結晶の開発と量産化への貢献」 |
| 1997年 | 第4回技術賞 |
前島 善文，川崎 宏一（（株）東京電子冶金研究所）
「熱交換法による光学用大口径Ge単結晶の作成」 |
| 1996年 | 第3回技術賞 |
米澤 卓三，太田 裕，高橋 和浩（（株）信光社）
「超伝導薄膜酸化物基板結晶加工技術の開発」
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| 1994年 | 第2回技術賞 |
柴田 真佐知，隈 彰二，稲田 知己，鈴木 隆（日立電線（株））
「高品質大型GaAs単結晶の開発」 |
| 1993年 | 第1回技術賞 |
西村 俊夫，松村 偵夫，小見 忠雄（東芝（株））
「弾性表面波素子用酸化物単結晶の成長技術の開発」
桑野 泰彦，古宇田 光，井元 祥子（日本電気（株））
「非線形光学用結晶合成技術の確立」
山岸 喜代志，山口 靖英，安斎 裕，野部 幸男，杉本 晶子（三井金属工業（株））
「固体レーザー用結晶合成技術の確立」 |
